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晶圓表面缺陷檢測(cè):半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵質(zhì)量控制環(huán)節(jié)
2025-01-22

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)載體,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中,由于多種因素的影響,如材料純度、制造工藝、設(shè)備精度等,表面可能會(huì)出現(xiàn)各種缺陷,如劃痕、顆粒污染、裂紋、氧化層異常等。這些缺陷不僅會(huì)降低芯...

  • 2020-12-12

    電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測(cè)量?jī)x器,具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨特點(diǎn)外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線(xiàn)性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。在國(guó)內(nèi)研究所,高等院校、工廠(chǎng)和軍工部門(mén)得到廣泛應(yīng)用,成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種*的測(cè)試儀器。本產(chǎn)品基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對(duì)的被測(cè)物體。如果有穩(wěn)定交流電通過(guò)傳感器,輸出交流電的電壓會(huì)與傳感器到被測(cè)物體之間的距離成正比關(guān)系,從而可以通過(guò)測(cè)量電壓的變化得...

  • 2020-12-07

    光學(xué)膜厚儀是一種非接觸式測(cè)量?jī)x器,一般會(huì)運(yùn)用在生產(chǎn)廠(chǎng)商大量生產(chǎn)產(chǎn)品的過(guò)程,由于誤差經(jīng)常會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品全部報(bào)廢,這時(shí)候就需要運(yùn)用光學(xué)膜厚儀來(lái)介入到生產(chǎn)環(huán)境,避免這種情況的發(fā)生。光學(xué)膜厚儀的光學(xué)機(jī)械組件:1、光源:寬光譜光源;2、探測(cè)器:高靈敏度低噪音陣列式光譜探測(cè)器;3、控制箱:含電路板、控制單元、電源、光源;4、輸出設(shè)備:軟件界面支持輸出、輸入光譜數(shù)據(jù)庫(kù)。系統(tǒng)特點(diǎn):1、嵌入式在線(xiàn)診斷方式;2、免費(fèi)離線(xiàn)分析軟件;3、精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶(hù)有效地存儲(chǔ),重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果;4、主...

  • 2020-12-01

    隨著光學(xué)在各個(gè)領(lǐng)域當(dāng)中的應(yīng)用,使得它也能為測(cè)厚行業(yè)里帶來(lái)貢獻(xiàn)。其中就有大眾所知的光學(xué)膜厚儀。它利用光學(xué)的特點(diǎn),能夠直接檢測(cè)出物件涂層、或者是其它物件的厚度。該儀器所使用的原理,便是光的折射與反射。這種儀器在使用時(shí),擺放在物件的上方,從儀器當(dāng)中發(fā)射了垂直向下的可視光線(xiàn)。其中一部分光會(huì)在膜的表面形成一個(gè)反射,另一部分則會(huì)透過(guò)儀器的薄膜,在薄膜與物件之間的界面開(kāi)成反射,這個(gè)時(shí)候,薄膜的表面,以及薄膜的底部同時(shí)反射的光會(huì)造成干涉的現(xiàn)象。儀器便是利用了這樣的一種現(xiàn)象,從而測(cè)量出物件的厚...

  • 2020-11-25

    作為光刻工藝中zuì重要設(shè)備之一,接觸式光刻機(jī)一次次革命性的突破,使大模集成電路制造技術(shù)飛速向前發(fā)展。了解提高接觸式光刻機(jī)性能的關(guān)鍵技術(shù)以及了解下一代光刻技術(shù)的發(fā)展情況是十分重要的。光刻意思是用光來(lái)制作一個(gè)圖形(工藝);在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過(guò)程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)“復(fù)制”到硅片上的過(guò)程。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。接觸式光刻機(jī)是集成電路芯片制造的關(guān)鍵核心設(shè)備。光刻機(jī)是微電子...

  • 2020-11-23

    光學(xué)膜厚儀是利用薄膜干涉光學(xué)原理,對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線(xiàn)。光學(xué)膜厚儀根據(jù)反射回來(lái)的干涉光,用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測(cè)量范圍1nm-3mm,可同時(shí)完成多層膜厚的測(cè)試。對(duì)于100nm以上的薄膜,還可以測(cè)量n和k值。應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體制造業(yè),光刻膠、氧化物、硅或其他半導(dǎo)體膜層的厚度測(cè)量;生物醫(yī)學(xué)原件:聚合物/聚對(duì)二甲苯;生物膜/球囊壁厚度;植入藥物涂層;微電子:光刻膠;硅膜;氮化鋁/氧化鋅薄膜...

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