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晶圓表面缺陷檢測:半導體制造中的關鍵質量控制環(huán)節(jié)
2025-01-22

在半導體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎載體,其表面質量直接決定了最終產品的性能和可靠性。晶圓在生產過程中,由于多種因素的影響,如材料純度、制造工藝、設備精度等,表面可能會出現各種缺陷,如劃痕、顆粒污染、裂紋、氧化層異常等。這些缺陷不僅會降低芯...

  • 2020-11-02

    光學厚度測量儀是一種可以檢測薄膜、金屬等材料厚度的儀器,而經過厚度是否均勻,從而確定薄膜、金屬等材料的各項物理性能指標。因為這些材料如果厚度不一致,那么不僅會導致材料的拉伸強度受到破壞,阻隔性下降,還會為材料的后期加工帶來不利的影響。該測量儀只是檢測金屬、薄膜、板材、橡膠、紙張、塑料的質量和性能的基本方法。它所測量的對象往往是一些對厚度有一定要求的材料,其中,包括了金屬箔片,而金屬箔片還包括了鋁箔、銅箔、錫箔等?,F在由于儀器的改進,厚度測試儀已經漸漸成為確保各種材料能夠得到進...

  • 2020-11-02

    美國FSM成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來為半導體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設備。美國FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀特殊功能優(yōu)點:1、*封閉的設計,溫度更穩(wěn)定。2、特殊的設計使震動偏移降到較低。3、圖形式使用界面更容易使用。4、當改變彈性模數,晶圓或薄膜厚度設備會自動重新計算應力保存數據文檔。5、可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數。6、可以計算應力的均勻性。7、可以輸出數據到Excel,提供給SPC分析。8、多重導向銷設計,手動裝載樣品,有優(yōu)異的重復性與再現性研...

  • 2020-10-30

    StrainScopeFlex可調式實時應力儀產品具有測量速度快、精度高、重復性好等特點,對大尺寸樣品可拼接測量。其應力測量設備用戶遍及*,用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應用領域包括光學材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。Flex系列可調式實時應力儀主要產品有三大系列:M系列高精度型;S系列實時型;M系列大口徑拼接型1、單口徑一次成像。測量時間<45s,測量速度快。2、空間分辨率高,低噪聲。3、操作方...

  • 2020-10-26

    FilmSenseFS-1多波長橢偏儀使用長壽命LED光源設計,使用壽命大于5000小時,同時FS-1的設計結構沒有轉動部件以確保設備的穩(wěn)定性??偟膩碇v,FS-1是一臺簡單易用的緊湊型設計的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測量。FilmSense橢偏儀的優(yōu)點:1、沒有復雜的軟件設置和維護。2、測量精度只有用本儀器才能達到。3、快速多次測量(多波長數據在10毫秒)且長期可靠性。4、長壽命(50000小時),不用頻繁更換昂貴的燈泡,或定時校正或周期維護。5、器對薄膜Δ參數相位差極...

  • 2020-10-22

    Herz氣浮式被動隔振臺采用了先進的減振技術,其技術參數和減振效果如下:Herz氣浮式被動隔振臺技術參數:1、減振方式:垂直方向-HERZ減振空氣彈簧,水平方向-Herz高性能水平振動隔離系統;2、空氣彈簧數:4-6;3、阻尼方式:垂直方向通過節(jié)流孔進行空氣阻尼,水平方向采用特殊橡膠的高性能阻尼;4、固有頻率:垂直方向約1.3Hz/水平方向約0.6Hz(搭載均等大重量時);5、調平方式:帶有3個機械式自動調平傳感器;6、供氣方式:需要外部氣源;7、所需氣壓:0.3~0.7MP...

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